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SEMICON China 2020，派克漢尼汾等您來赴約！
6月27日至6月29日，上海新國(guó)際博覽中心將迎來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的行業(yè)盛會(huì)SEMICON China 2020。屆時(shí)，1000多家國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體知名企業(yè)齊聚一堂，共同展示最新產(chǎn)品與技術(shù)，探討行業(yè)發(fā)展新機(jī)遇。
這場(chǎng)一年一度的半導(dǎo)體盛宴，有很多不可錯(cuò)過的精彩，其中就包括位于 E6715的派克漢尼汾展臺(tái)！下面，一起來看看展臺(tái)都有哪些明星產(chǎn)品吧！
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DISS鋼瓶接頭
● 316L不銹鋼材質(zhì)，與介質(zhì)接觸的部件均標(biāo)有熱爐追蹤號(hào)
● 內(nèi)牙螺母螺紋表面鍍銀處理，增加潤(rùn)滑性
● 墊片經(jīng)硬度控制及拋光處理工藝， Ra值在10左右
● 鋼瓶接頭本體部分經(jīng)EP電拋光處理，可減少顆粒物的產(chǎn)生
● 密封部分經(jīng)硬化處理 |
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VA01高頻閥
● 使用壽命長(zhǎng)
● 快速、穩(wěn)定的響應(yīng)時(shí)間(可快達(dá)2ms)
● 低發(fā)塵量、無油潤(rùn)滑
● 尺寸緊湊、重量輕 |
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PRN 擺動(dòng)氣缸
● 采用KURODA密封件，減少漏氣量
● 葉片軸經(jīng)過特殊熱加工，增強(qiáng)轉(zhuǎn)矩
● 可追加配件：緩沖裝置CRN
● 規(guī)格齊全，角度可調(diào) |
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PSD工業(yè)以太網(wǎng)型伺服驅(qū)動(dòng)器
● 結(jié)構(gòu)緊湊
● 同時(shí)支持PROFINET和ETHERCAT總線
● 接受旋變/編碼器/DSL絕對(duì)值等多種反饋
● 有單軸、雙軸、三軸版本可選 |
FR1000單級(jí)減壓閥
派克FR1000單級(jí)減壓閥專業(yè)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓制程中所需要的各種特種氣、液體的輸送和控制系統(tǒng)，同時(shí)也廣泛應(yīng)用于石油化工、分析及實(shí)驗(yàn)室等領(lǐng)域。
派克UHP系列產(chǎn)品
是根據(jù)超高純系統(tǒng)連接的要求設(shè)計(jì)出的無泄漏接頭。所有電拋光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 級(jí)潔凈室環(huán)境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”標(biāo)準(zhǔn)的清潔和包裝。
UHP 面密封接頭
派克UHP系列產(chǎn)品是根據(jù)超高純系統(tǒng)連接的要求設(shè)計(jì)出的無泄漏接頭。所有電拋光UltraSeal?和VacuSeal? 元件在100 級(jí)潔凈室環(huán)境下符合Federal Standard 209E “OMEGA”標(biāo)準(zhǔn)的清潔和包裝。
ASV/ASC 節(jié)能閥
派克內(nèi)置脈沖開關(guān)技術(shù)的節(jié)能閥用于吹掃、除塵去靜電等場(chǎng)合，將節(jié)約最高50%的耗氣量；大量降低工廠壓縮空氣消耗，降低工廠運(yùn)營(yíng)成本，降低工廠CO2排放，為節(jié)能做貢獻(xiàn)。
派克200KL快換接頭
碳鋼或不銹鋼材質(zhì)，平齊端面閥芯，無溢流，通徑4mm，6mm，9mm。用于水冷系統(tǒng)快換連接或斷開，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，單手操作，簡(jiǎn)單快捷。
RIPPED 系列有鐵芯直線電機(jī)
派克RIPPED有鐵芯直線電機(jī)采用專利防齒槽效應(yīng)技術(shù)，滿足大推力需求，同時(shí)保證了速度一定的平滑性。產(chǎn)品提供了R5\R7\R10\R16四組規(guī)格，覆蓋持續(xù)推力從40N到2230N。
密封系列
派克密封產(chǎn)品系列，從O形圈到復(fù)合密封結(jié)構(gòu)，高純度全氟橡膠到熱塑性彈性體，擠出成型墊片到金屬密封，為半導(dǎo)體行業(yè)提供完整的密封解決方案。
從智能手機(jī)到產(chǎn)業(yè)機(jī)器人，再到超級(jí)計(jì)算機(jī)，隨著應(yīng)用范圍不斷增加，半導(dǎo)體行業(yè)在蓬勃發(fā)展的同時(shí)，其制程工藝也不斷快速提升。然而，無論工藝如何改進(jìn)，都離不開鹽酸、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液，以及乙醇，丙酮等各類高純度化學(xué)品的使用。
這些高純度化學(xué)品具有強(qiáng)酸、強(qiáng)腐蝕性等特性，在其輸送系統(tǒng)原材料的選擇上，必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進(jìn)入人們的視野，它們具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑、耐腐蝕等特點(diǎn)，被視為半導(dǎo)體制程中化學(xué)品輸送系統(tǒng)的理想材料。
例如，在半導(dǎo)體的CMP工藝中，Slurry輸送系統(tǒng)的部件就可選用PFA材質(zhì)。CMP又稱化學(xué)機(jī)械拋光，它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供應(yīng)系統(tǒng)與之關(guān)系密切。作為一種特殊的化學(xué)研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液，其供應(yīng)系統(tǒng)將持續(xù)為CMP提供制程所需的化學(xué)研磨液，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)異常，會(huì)對(duì)CMP制程造成嚴(yán)重?fù)p失。
因此，Slurry輸送系統(tǒng)對(duì)閥門的選用要求嚴(yán)格。比市場(chǎng)上同類產(chǎn)品相比，派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥，能更好地符合用戶需求。
派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設(shè)計(jì)巧妙，質(zhì)量卓越，能夠符合半導(dǎo)體制程中化學(xué)品、尤其是Slurry輸送的不同要求，更少的故障以及更長(zhǎng)的產(chǎn)品壽命將為客戶帶來更多的價(jià)值。
除了這些明星展品，還有電爪、空氣節(jié)省單元等產(chǎn)品也將亮相展會(huì)。在此，我們誠摯邀請(qǐng)您蒞臨參加派克漢尼汾展臺(tái)，詳細(xì)了解派克最新的產(chǎn)品技術(shù)與解決方案。SEMICON China 2020，讓我們不見不散！
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