Parker派克漢尼汾在半導體行業的產品和方案

從智能手機到產業機器人，再到超級計算機，隨著應用范圍不斷增加，半導體行業在蓬勃發展的同時，其制程工藝也不斷快速提升。然而，無論工藝如何改進，都離不開鹽酸、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液，以及乙醇，丙酮等各類高純度化學品的使用。

這些高純度化學品具有強酸、強腐蝕性等特性，在其輸送系統原材料的選擇上，必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進入人們的視野，它們具有抗酸抗堿、抗各種有機溶劑、耐腐蝕等特點，被視為半導體制程中化學品輸送系統的理想材料。

半導體的CMP工藝中，Slurry輸送系統的部件就可選用PFA材質。CMP又稱化學機械拋光，它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供應系統與之關系密切。

作為一種特殊的化學研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液，其供應系統將持續為CMP提供制程所需的化學研磨液，一旦系統出現異常，會對CMP制程造成嚴重損失。

Slurry輸送系統對閥門的選用要求嚴格。比市場上同類產品相比，派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥，能更好地符合用戶需求。

雙密封點

Slurry有易結晶的特性，一旦在閥座密封處形成結晶，就會影響閥門的關閉功能，造成泄漏故障。因此，22系列膜閥采用膜片密封形狀設計，形成雙密封點，能有效控制這類故障。在閥門關閉時的應力測試圖中，可以觀察到雙密封點，如果其中一處密封點失效，另一處密封點還將繼續工作，從而提高閥門的工作壽命。

第三方的測試數據也很好地證明了這一點：在輸送鹽酸和硫酸時，工作壽命超過210萬次；輸送純水時，超過300萬次；輸送Slurry時，雙密封點的效果明顯，在系統無故障的條件下，工作壽命超過210萬次。

滑梯狀流道

目前市場上應用于Slurry閥門多數采用內部無死角的自排放結構，使閥門在不使用時能夠排空。22系列膜閥采用滑梯狀流道設計，一定程度上減少了流體在閥門內部的停留時間，同時減小流體對閥體不同部位的應力差，從而有效延長閥體的壽命。

派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設計巧妙，質量卓越，能夠符合半導體制程中化學品、尤其是Slurry輸送的不同要求，更少的故障以及更長的產品壽命將為客戶帶來更多的價值。

派克漢尼汾將攜22系列PFA膜閥等相關產品亮相，向我們的工作人員咨詢更多相關信息！

Parker超高純度含氟聚合物PFA膜閥 - 22系列
PFA Valves Ultra High Purity Fluoropolymer (PFA) Valves - 22 Series

UHP含氟聚合物超凈閥，其材質為PFA含氟聚合物或PTFE聚四氟乙烯，適用于半導體液體環境應用，包括高濃度的酸和堿，明確的化學物質和漿料。UHP Fluoropolymer ultra clean valves are made from PFA and PTFE for semiconductor liquid applications including high concentration acids and bases, clear chemistries and slurries.

這些新型的、超清潔的、材質為含氟聚合物的手動和氣動閥門大大提高了流量，并提供更好的增強型閥座密封，增強無泄漏性能，提供了安全性。它們旨在以小的體積提供最高的流量。采用計算流體動力學軟件來通過這些閥門的流量。這些超凈化閥適用于半導體液體應用，包括高濃度酸和堿，明確的其他化學物質和漿液。因其清潔度和擁有高度的耐化學腐蝕性能，對于其他嚴苛的市場應用，也可以使用這些閥門。These new, ultra clean, fluoropolymer, manual and pneumatic valves offer increased flow and provide better seat sealing for enhanced, leak-free performance for greater safety. They are designed to deliver the highest flow in the smallest package available. Computational fluid dynamics software was utilized to maximize the flow through these valves. These ultra clean valves are for semiconductor liquid applications including high concentration acids and bases, clear chemistries and slurries. Other demanding markets can use these valves for their cleanliness and ability to carry highly corrosive chemicals.

Parker超高純度含氟聚合物PFA膜閥 - 22系列Ultra High Purity Fluoropolymer Valves
PFA Valves Ultra High Purity Fluoropolymer (PFA) Valves - 22 Series

市場Markets：

- 半導體加工 Semiconductor processing
- 化學品加工 Chemical Processing
- 分析設備 Analytical Equipment
- 實驗室 Laboratory

特點與優勢Features/Benefits：

- 耐酸和漿料，循環使用壽命長 High cycle life in acids and slurry
- 簡潔的標識，真正的上鎖掛牌設計（LOTO） Compact footprint with a true lock-out, tag-out design (LOTO)
- 雙點密封提供雙倍的密封效能（專利申請中） Dual point seal provides double the sealing power (patent pending)
- 平滑的鉆孔和完全可清掃的流道，大限度地減小顆粒捕獲區域并防止截留區的形成 Smooth bore and fully swept path, minimizes particle entrapment areas and prevents stagnation
- 100％泄漏測試 100% leak tested
- 符合SEMI-F57-0301標準 Meets SEMI-F57-0301 Standards

關鍵應用Key Applications：

- 化學機械拋光（CMP）漿料 Chemical Mechanical Polishing (CMP) Slurries
- 超高純度工藝 Ultra high purity processes
- 明確的半導體工藝化學物質 Clear chemistries for semiconductor processes
- 攪拌機系統 Blender systems
- 清潔系統 Cleaning systems

性能特點

閥體材料 PFA
隔膜材料 改性聚四氟乙烯（PTFE）
殼體材料 聚偏氟乙烯（PVDF)
彈簧材料 不銹鋼，含氟聚合物涂層
螺釘材料 SS
最大壓力（PSIG) 80 psig
驅動壓力 60 至100 psig
溫度系數(F) 32°至212°F
溫度范圍（C) 0°至100°C
證明壓力 120 psig
爆破壓力 200 psig
流體容量 0.33, 0.82, 2.3, 4.3

LITERATURE AND REFERENCE MATERIALS
產品技術資料下載：

22 Series PFA Valves Half Inch
22 Series PFA Valves Quarter Inch

Parker Compression A-Lok Tube Fittings
Parker Pipe & Pipe Fittings
Parker PFA Tube Flare Fittings
Parker PTFE Tube Grip Fitting
Parker/Jaco Polyproylene Tube Fitting
Parker Pneumatic One Touch Fitting
Parker Ball Valves/Metering Valve
Parker PFA/PTFE Valves/PTFE Ball
Parker PFA Relief Valve/Check Valves
Parker high purity diaphragm valves
Parker Ultra High Purity Regulators
Parker Instrumen

- Parker派克PFA擴口接頭、PFA卡套接頭、PFA閥門、PFA針閥、PFA單向閥、PFA三通閥、PFA純水槍、PFA氮氣槍、PTFE熱擴工具

超高純度含氟聚合物（PFA）閥 - 22系列 UHP 含氟聚合物超凈閥，其材質為PFA(含氟聚合物)或PTFE（聚四氟乙烯），適用于半導體液體環境應用，包括高濃度的酸和堿，明確的化學物質和漿料。	UHP PFA手動隔膜（1/4英寸）三通閥 - MV-10系列 MV-10 PFA三通隔膜閥用于高純半導體行業。也是超純水和腐蝕性化學品或氣體應用的理想選擇。
UHP超高純 PFA 手動隔膜(1/2") 3通閥 – MV-11 系列 MV-11 系列 PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理應用(壓力可達100 psig)。	UHP 超高純 PFA手動隔膜閥 (1 ') 2 通閥 – MV-12 系列 MV-12 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它非常適合用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。有2通型
UHP 超高純 PFA 手動隔膜 (3/4") 2 通閥 – MV-16系列 MV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有2通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。	UHP 超高純 PFA手動隔膜 (3/4") 3 通閥 – MV-16系列UHP超高純 PFA 手動隔膜 (3/4") 3通閥 – MV-16系列 MV-16 系列PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。
UHP 超高純 PFA 氣動隔膜 (1/4") 3 通閥 – PV-10系列 PV-10 系列PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有2通或3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用。 (壓力可達80 psig).	UHP 超高純 PFA氣動隔膜(1/2 ") 3 通閥 – PV-11系列 PV-11 系列 PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有2通和3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用
UHP 超高純 PFA手動針閥 (尺寸最大 1/2 ") – MV-13 系列 MV-13 系列 PFA手動針閥提供優秀的泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它帶有PTFE卡套，旨在為超高純和腐蝕性流體處理應用提供精確的流量控制 。	UHP 超純PFA氣動隔膜（1“）2通閥 – PV-12系列 PV-12 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。非常適合用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用。有2通和3通型
UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4 ") 2 通閥 – PV-16系列 PV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有2通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性液體和氣體應用	UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4 ") 3 通閥 – PV-16系列 PV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性液體和氣體應用
PFA氮氣槍 - SG-1 系列 PFA 氮氣槍適用于高純半導體應用。該設計使用了具有精密加工密封區域的高純 PFA 模塑成型的槍體。

Partek PFA_PTFE Valves Catalog 4182 USA

超高純度含氟聚合物（PFA）閥 - 22系列

超高純度含氟聚合物（PFA）閥 - 22系列
UHP 含氟聚合物超凈閥，其材質為PFA(含氟聚合物)或PTFE（聚四氟乙烯），適用于半導體液體環境應用，包括高濃度的酸和堿，明確的化學物質和漿料。

UHP PFA手動隔膜（1/4英寸）三通閥 - MV-10系列

UHP PFA手動隔膜（1/4英寸）三通閥 - MV-10系列
MV-10 PFA三通隔膜閥用于高純半導體行業。也是超純水和腐蝕性化學品或氣體應用的理想選擇。

UHP超高純 PFA 手動隔膜(1/2

UHP超高純 PFA 手動隔膜(1/2") 3通閥 – MV-11 系列
MV-11 系列 PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理應用(壓力可達100 psig)。

UHP 超高純 PFA手動隔膜閥 (1 ') 2 通閥 – MV-12 系列

UHP 超高純 PFA手動隔膜閥 (1 ') 2 通閥 – MV-12 系列
MV-12 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它非常適合用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。有2通型

UHP 超高純 PFA 手動隔膜 (3/4

UHP 超高純 PFA 手動隔膜 (3/4") 2 通閥 – MV-16系列
MV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有2通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。

UHP 超高純 PFA手動隔膜 (3/4

UHP 超高純 PFA手動隔膜 (3/4") 3 通閥 – MV-16系列UHP超高純 PFA 手動隔膜 (3/4") 3通閥 – MV-16系列
MV-16 系列PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體和氣體處理 應用。

UHP 超高純 PFA 氣動隔膜 (1/4

UHP 超高純 PFA 氣動隔膜 (1/4") 3 通閥 – PV-10系列
PV-10 系列PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它有2通或3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用。 (壓力可達80 psig).

UHP 超高純 PFA氣動隔膜(1/2

UHP 超高純 PFA氣動隔膜(1/2 ") 3 通閥 – PV-11系列
PV-11 系列 PFA閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有2通和3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用

UHP 超高純 PFA手動針閥 (尺寸最大 1/2

UHP 超高純 PFA手動針閥 (尺寸最大 1/2 ") – MV-13 系列
MV-13 系列 PFA手動針閥提供優秀的泄露完整性和優異的耐腐蝕性。它帶有PTFE卡套，旨在為超高純和腐蝕性流體處理應用提供精確的流量控制 。

UHP 超純PFA氣動隔膜（1“）2通閥 – PV-12系列

UHP 超純PFA氣動隔膜（1“）2通閥 – PV-12系列
PV-12 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。非常適合用于超高純(UHP)和腐蝕性流體應用。有2通和3通型

UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4
UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4 ") 2 通閥 – PV-16系列
PV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有2通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性液體和氣體應用

UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4

UHP 超高純 PFA氣動隔膜(3/4 ") 3 通閥 – PV-16系列
PV-16 系列 PFA隔膜閥提供高泄露完整性和優異的耐腐蝕性。有3通型，用于超高純(UHP)和腐蝕性液體和氣體應用

PFA氮氣槍 - SG-1 系列

PFA氮氣槍 - SG-1 系列
PFA 氮氣槍適用于高純半導體應用。該設計使用了具有精密加工密封區域的高純 PFA 模塑成型的槍體。

Partek PFA / PTFE Parflare接頭

Partek含氟聚合物(PFA / PTFE)產品應用于壓力低于120psig (8.27barg)，溫度不超過400F(204℃)的任何超高純或腐蝕性化學品的理想選擇。 含氟聚合物閥門及接頭具有很好的耐腐蝕性，并可確保介質/系 統的潔凈度。所有產品的接觸介質表面均為耐腐蝕PFA或PTFE材質。Partek產品可提供的尺寸范圍從1/8”至1”。連接方式:擴口式連接、卡套式連接、螺紋式連接、焊接式。

Parflare擴口接頭:可用于側向負載和振動工況，內腔殘余容積小，減少粒子滯留和細菌增長。

Pargrip PFA卡套接頭:適用于要求安裝簡便的場合，組裝無需特殊工具，軟管無需預先開槽。

Parbond PFA熔接接頭:為永久式焊接連接，避免螺紋連接和消除滯留區域，是無泄漏的連接方式，適合大流量、低壓降應用。

PFA螺紋管接頭:可提供多種形式的標準NPT螺紋接頭，安裝時使用PTFE生膠帶。

Parker派克PFA/PTFE閥門;ParkerPFA/PTFE閥門;派克PFA/PTFE閥門;Parker派克PFA/PTFE閥門/接頭;Parker派克PFA/PTFE閥門/接頭;含*聚合物;Parker派克Partek含*聚合物(PFA/PTFE)產品;Parker派克含*聚合物(PFA/PTFE)閥門/接頭;Parker派克Parflare PFA/PTFE擴口接頭;Parker派克Pargrip PFA/PTFE卡套接頭;Parker派克Parbond PFA/PTFE熔接接頭;Parker派克PFA/PTFE螺紋管接頭;Parker派克PFA/PTFE閥門;Parker派克PFA/PTFE壓力表保護器; Parker派克PFA/PTFE熱電偶接頭;Parker派克PFA/PTFE噴槍;Parker派克PTFE閥門;Parker派克PFA/PTFE減壓閥;Parker派克PFA/PTFE流量計;Parker含*聚合物產品;派克含*聚合物產品;Parker派克含*聚合物PFA/PTFE閥門/接頭;Parker派克Partek含*聚合物(PFA/PTFE)產品;Parker派克Parflare PFA/PTFE擴口接頭;Parker派克PargripPFA/PTFE卡套接頭;Parker派克ParbondPFA/PTFE熔接接頭;Parker派克PFA/PTFE螺紋管接頭;Parker派克PFA/PTFE閥門;Parker派克PFA閥門;Parker PFA閥門;派克PFA閥門;Parker派克PTFE閥門;ParkerPTFE閥門;派克PTFE閥門;Parker派克PFA接頭;ParkerPFA接頭;派克PFA接頭;Parker派克PTFE接頭;ParkerPTFE接頭;派克PTFE接頭;Parker派克PFA/PTFE壓力表保護器;Parker派克PFA/PTFE熱電偶接頭;Parker派克PFA/PTFE噴槍;Parker派克PFA/PTFE減壓閥;Parker派克PFA/PTFE流量計;Parker含*聚合物產品;派克含*聚合物產品;Parker派克PFA四*乙烯閥門;派克PFA四*乙烯閥門;派克PFA四*乙烯閥門;Parker派克PFA四*乙烯接頭;派克PFA四*乙烯接頭;Parker PFA四*乙烯接頭;Parker派克PTFE聚四*乙烯閥門;Parker PTFE聚四*乙烯閥門派克PTFE聚四*乙烯閥門;Parker派克PTFE聚四*乙烯接頭;派克PTFE聚四*乙烯接頭;Parker PTFE聚四*乙烯接頭;Parker派克PFA/PTFE卡套接頭;Parker PFA/PTFE Pargrip接頭;派克PFA/PTFE Pargrip接頭;PFA/PTFE Pargrip卡套接頭;Parker派克PFA/PTFE擴口接頭;Parker PFA/PTFE Parflare接頭;派克PFA/PTFE Parflare接頭PFA/PTFE Parflare接頭。

MV-1球閥、MV-6球閥、MV-8取樣閥、MV-10球閥、MV-11球閥、MV-12球閥、MV-13球閥、MV-14球閥、MV-16球閥、PV-1、PV-10、PV-11、PV-12、PV-16、CV-1單向閥、RV-1安全閥、SV-2電磁閥、PR-1調壓閥、PR-3調壓閥、BR-1背壓閥、BR-3背壓閥、FM-3流量計、FM-4流量計、PP-20氣動隔膜泵PP Pneumatic Bellows Pump、GP Gauge Protector、GP-130、GP-131、GP-530、GP-531、GP-630、GP-631、GPIL-6644、SG-1 DI Water Spray Gun、PFA水槍、SG-1-01、SG-1 Nitrogen Gun、SG-1氮、SG-1-03、VV Venturi/Vacuum Generator、PFA真空發生器、VV-041020204、VV-046040606、NW-04-U、NW-06-U、NW-08-U、NW-12-U、NW-16-U、MFT-U、MFT-U、MFT-4、MFT-6、MFT-8、MFT-10、MFT-12、MFT-16、MFT-20、FG-1-4 C、FG-1-6 C、FG-1-8 C、FG-1-12 C、FG-1-16 C、FG-1K-2、FG-1K-3、FG-1K-4、FG-1K-5。

Parker派克Partek含*聚合物(PFA/PTFE)產品，應用于壓力低于120psig(8.27barg)，溫度不超過400F(204℃)的任何超高純或腐蝕性化學品的理想選擇。 Parker派克含*聚合物(PFA/PTFE)閥門/接頭，具有很好的耐腐蝕性，并可確保介質/系 統的潔凈度。所有產品的接觸介質表面均為耐腐蝕PFA或PTFE材質。Partek產品可提供的尺寸范圍從1/8”至1”。

Parker派克Parflare PFA/PTFE擴口接頭:可用于側向負載和振動工況，內腔殘余容積小，減少粒子滯留和細菌增長。Parker派克Pargrip PFA/PTFE卡套接頭:適用于要求安裝簡便的場合，組裝無需特殊工具，軟管無需預先開槽。Parker派克Parbond PFA/PTFE熔接接頭:為**式焊接連接，避免螺紋連接和消除滯留區域，是無泄漏的連接方式，適合大流量、低壓降應用。Parker派克PFA/PTFE螺紋管接頭:可提供多種形式的標準NPT螺紋接頭，安裝時使用PTFE生膠帶。Parker派克PFA/PTFE閥門, Parker派克PFA/PTFE壓力表保護器, Parker派克PFA/PTFE熱電偶接頭和Parker派克PFA/PTFE噴槍:高循環使用壽命,全部由含*聚合物制造，已得到多年 成功應用。Parker派克PTFE閥門, Parker派克PFA/PTFE減壓閥, Parker派克PFA/PTFE流量計:接觸介質的區域全部由含*聚合物PFA/PTFE制造，抗腐蝕性卓越，使用壽命長。

應用行業: 半導體、太陽能、液晶面板制造等行業，或者其他一些有超高純流體要求的行業
應用流體：鹽酸、硝酸、雙氧水以及其他一些有超高純、防腐蝕要求的化學品流體， 接頭身體部分材質為高純PFA,與介質接觸到的部分全部為PFA材質
螺母的標準材質為PVDF,根據客戶的要求,也可以提供PFA材質的螺母,有超高溫要求的,需另外選配螺母， 簡單的設計、簡易的安裝,用熱風槍工具和擴口器即可完成安裝,最大程度地減少您的安裝時間和成本