Parker派克漢尼汾│CleanFit 專為潔凈室設計
半導體工業起步于由航空工業發展而來的潔凈室技術。如今,大規模復雜的潔凈室輔助工業已經形成,潔凈室技術也與芯片的設計技術同步發展。通過不斷地解決在各個芯片技術時代所存在的污染問題,這一工業自身也得到了發展。
半導體器件極易受到包括微粒、金屬離子、化學物質以及細菌等污染, 這些污染物會對工藝過程和器件產生影響:
器件工藝良品率
在一個污染環境中制成的器件會引起多種問題。污染會改變器件的尺寸,改變表面的潔凈度,或者造成有凹痕的表面。高度的污染使得僅有少量的晶片能夠完成全工藝過程,從而導致成本升高。

器件效能
更為嚴重的是在工藝過程中漏檢的小污染。芯片看起來是干凈的,但其中未能檢測出來的不必要化學物質,高濃度的可移動離子污染物,可能會改變器件的電性能。

器件可靠性
最嚴重的莫過于污染對器件可靠性的影響。小劑量的污染物可能會在工藝過程中進入器件,而未被通常的測試檢驗出來。然而,這些污染物會在器件內部移動,最終停留在電性敏感區域,從而引起器件失效。

半導體材料提純是發展半導體器件的重要基礎,由于大規模和超大規模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產環境的潔凈度成為影響工藝過程和產品質量的一個突出問題。
派克漢尼汾新推出的CleanFit產品,正是為了滿足半導體行業的潔凈室要求而設計的。

派克漢尼汾CleanFit屬于高潔凈等級產品,設計符合人體工程學,采用生物兼容性材料制造,100%經過測試,并且有獨特的可追溯標識以保證產品質量安全可靠,最適合于潔凈室的應用。
其生產制造過程均在潔凈室中進行,包括超聲波純水清洗,組裝,檢查和封裝,確保產品高潔凈等級,最大程度降低污染。

Parker Life Sciences生命科學產品
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