|
如何為半導(dǎo)體應(yīng)用選擇壓力傳感器？
如何為半導(dǎo)體應(yīng)用選擇壓力傳感器
半導(dǎo)體行業(yè)幾乎影響著當(dāng)今生活的方方面面。您每天使用的手機(jī)、計(jì)算機(jī)、電視、汽車(chē)和其他電子設(shè)備都依賴于半導(dǎo)體的存在，這些應(yīng)用需要專業(yè)的高純度設(shè)備和儀器來(lái)確保安全、高效運(yùn)行。
壓力傳感器對(duì)于半導(dǎo)體工藝至關(guān)重要，如何選擇適用于半導(dǎo)體應(yīng)用的壓力傳感器？本文將重點(diǎn)介紹半導(dǎo)體應(yīng)用過(guò)程中所涉及的因素，以及是什么造就了一臺(tái)優(yōu)秀的壓力傳感器，以便為您的實(shí)際應(yīng)用選擇合適的設(shè)備。
半導(dǎo)體工藝
圖片
雅斯科的壓力測(cè)量技術(shù)和產(chǎn)品，包括配備CVD傳感元件的高純壓力傳感器以及使用 Si-Glas? 超薄單晶硅膜片可變電容傳感元件的微差壓傳感器，在諸如氣體控制面板，氫氣壓力檢測(cè)，以及潔凈室關(guān)鍵環(huán)境控制等應(yīng)用領(lǐng)域，為半導(dǎo)體制程和設(shè)備提供精確的測(cè)量和有效的保障。
半導(dǎo)體應(yīng)用中壓力傳感器的關(guān)鍵因素
- 污染控制 -
為了降低成本并提高性能，半導(dǎo)體制造不斷面臨著增加晶片中電路數(shù)量和密度的挑戰(zhàn)。為了使電路圖案變得越來(lái)越小，在半導(dǎo)體工藝過(guò)程中需要進(jìn)行大范圍的污染控制，以避免即使是最小的外來(lái)顆粒也不會(huì)對(duì)暴露的晶片表面造成損壞。
- 光滑的表面 -
光滑的表面減少了暴露在使用過(guò)程中的表面積，并減少了在安裝期間和重復(fù)使用后水分或異物粘附在儀器上的機(jī)會(huì)。
- 優(yōu)質(zhì)的材質(zhì) -
壓力傳感器的材料必須與過(guò)程介質(zhì)兼容并具有可靠的質(zhì)量。高純度等級(jí)的 316L 不銹鋼最常用于壓力傳感器，因?yàn)樗鼈兙哂懈吣透g性和抗氫脆性 —— 這些因素會(huì)影響壓力傳感器的長(zhǎng)期安全性、可重復(fù)性和穩(wěn)定性。
- 安全認(rèn)證 -
此外，半導(dǎo)體氣體可能易燃易爆有毒，因此必須選擇具有防爆認(rèn)證的壓力傳感器，以解決至關(guān)重要的安全問(wèn)題。
雅斯科壓力傳感器
雅斯科ZT/ZX系列高純壓力傳感器基于CVD傳感元件平臺(tái)，是超純應(yīng)用的專用壓力傳感器產(chǎn)品，其產(chǎn)品特性包括能適應(yīng)不同介質(zhì)的接液元件材質(zhì)，如316L, A286，Co-Ni 合金等，也包括VCR接頭，以及符合規(guī)范的表面光潔度和測(cè)量精度。每臺(tái)產(chǎn)品都經(jīng)過(guò)泄漏檢測(cè)(<5 x 1012 atmcc/s)以及雙重包裝處理，確保完整性和潔凈度。
該產(chǎn)品系列與多種過(guò)程氣體兼容，并在長(zhǎng)期過(guò)程測(cè)量中表現(xiàn)出較高的穩(wěn)定性。ZX11超高純壓力變送器具有適用于危險(xiǎn)區(qū)域的 ATEX 和 IECEX 認(rèn)證證書(shū)。
起始于1852年的Ashcroft（雅斯科）公司，在全球布局制造基地，致力于結(jié)合應(yīng)用需求，為本地客戶提供專業(yè)的產(chǎn)品與便捷的服務(wù)，幫助客戶保護(hù)流程，保護(hù)人員安全，降低使用成本。
- 信德邁科技(北京)有限公司多年來(lái)致力于為國(guó)內(nèi)客戶提供高端半導(dǎo)體裝備元器件，助力芯片OEM制造商。產(chǎn)品包括等離子刻蝕設(shè)備 Etcher、物理氣相沉積設(shè)備 PVD、化學(xué)氣相沉積設(shè)備 CVD、氧化擴(kuò)散設(shè)備 Oxide/Diff、清洗設(shè)備 Cleaning Tool、紫外固化設(shè)備 UV Cure、PECVD、磁控濺射PVD、LPCVD、RPD反應(yīng)離子沉積、有機(jī)及金屬共蒸發(fā)設(shè)備、離子注入機(jī)Ion implanter、單原子層沉積（atomic layer deposition，ALD），又稱原子層沉積或原子層外延（atomic layer epitaxy）; 涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)Wet etching machine、單片清洗機(jī); 快速退火爐等IC關(guān)鍵裝備、擴(kuò)散爐、刻蝕機(jī)、PECVD、高溫?zé)Y(jié)爐為主的太陽(yáng)能電池制造裝備。PVD（磁控濺射、有機(jī)及金屬共蒸發(fā)、離子鍍、RPD反應(yīng)離子沉積等）、CVD（PECVD、LPCVD等）和ALD原子層沉積
http://www.cnmec.net/app/Semiconductor_parts.htm
- 半導(dǎo)體 Semiconductor_parts
提供卓越精度和最佳性能的精密解決方案 - 晶圓制造Wafer Fabrication; Circuitry Creation電子芯片制造;IC制造、TSV/3D封裝、MEMS、晶圓、基片等制造領(lǐng)域。
http://www.cnmec.net/Semiconductor.htm
|
